Silicon Analyzer
晶圓量測系統

Silicon Analyzer是以高階的研發型紅外光光譜儀為基礎，搭配MappIR 及MAP300的自動晶圓量測工具。具有專用軟體，僅需選擇量測程式及放上wafer，軟體會自動量測動作並儲存報告。

．可量測2至12吋的晶元
．標準量測模式：穿透、鏡面反射
．可進行purge以去除大氣干擾

1. 用於實驗室晶圓分析
2. 可自動化進行多點測量
3. 可對半導體晶圓做mapping
4. 智慧及人性化的控制軟體

1. 氧氣含量測定
2. 碳含量測定
3. 半導體產業
4. 晶圓分析
5. 太陽能晶片分析